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真空等离子清洗机的构成及其工作原理

2022-09-17 11:02:22

真空等离子清洗机由真空产生体系、电气控制体系、等离子产生器、真空腔体及相关机械等几个部分构成。应用时能够依据客户的要求定制符合客户需要的真空等离子清洗机


真空等离子清洗机运用两个电极构成电磁场,用真空泵实现有用的真空度,随着气体越来越稀薄,分子之间的间隔及分子或离子的自在运动的间隔也越来越长,受磁场作用产生碰撞而构成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场内的空间运动,并不断炮击被处理物体外表,去除外表油污以及外表氧化物、灰化外表有机物以及其它化学物质,以此达到外表处理清洗和刻蚀的作用。


小型台式等离子清洗机



真空式等离子处理体系

真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下:

1、首先将被清洗的工件送入真空机并加以固定,发动运转装置开端排气,让真空腔内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时刻大约需要几分钟。

2、然后向真空室内引进等离子清洗用的气体,并坚持腔内压强稳定。依据清洗材料的不同,可分别运用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。

3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿并经过辉光放电而产生等离子化和产生等离子体,让在真空腔内产生的等离子体笼罩住被处理的工件并开端清洗作业,一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等,依据处理材质的不同而定。

4、清洗结束后切断电源,并经过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出,清洗结束。

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